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  • downstream plasma cleaners 等离子清洗

    SEMI-KLEEN远程等离子清洁器旨在满足半导体行业的苛刻要求。它可以用于电子束检查系统(EBR),电子束检查系统(EBI),CD-SEM,电子束光刻系统,EUV光刻(EUVL)和EUV掩模检查器。EM-KLEEN等离子清洁器的所有标准硬件功能(例如压力传感器,自动气流控制器,等离子强度传感器,温度传感器,冷却风扇和LCD触摸屏控制器)

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